SEMICONDUCTOR
半導(dǎo)體
機(jī)臺(tái)真空磁懸浮電機(jī)
磁懸浮電機(jī)及其控制器
半導(dǎo)體行業(yè)中RTP、RTA工藝中涉及到的快速退火設(shè)備，其中利用磁懸浮轉(zhuǎn)臺(tái)對(duì)晶圓進(jìn)行穩(wěn)定懸浮和旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)相應(yīng)的工藝要求。
磁懸浮電機(jī)控制器在正常運(yùn)行時(shí)可控制電機(jī)平穩(wěn)運(yùn)行，轉(zhuǎn)速波動(dòng)在工作范圍內(nèi)可達(dá)到要求精度；具備轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)狀態(tài)監(jiān)控功能，在設(shè)備產(chǎn)生故障時(shí)，能夠及時(shí)報(bào)警并生成異常日志，以便后續(xù)故障排查；具備定子溫度監(jiān)控及過(guò)溫保護(hù)功能；具備斷電保護(hù)、急停功能，可在斷電、失載、過(guò)載、偏心、跳動(dòng)超標(biāo)等情況下提供設(shè)備保護(hù)等。
進(jìn)一步了解東能
感受東能助力工業(yè)科技轉(zhuǎn)型 暢導(dǎo)能源產(chǎn)業(yè)綠色發(fā)展
東能(沈陽(yáng))能源工程技術(shù)有限公司
數(shù)字賦能 工業(yè)互聯(lián)
聯(lián)系信息
總部地址：遼寧省沈陽(yáng)市沈河區(qū)文藝路26號(hào)萬(wàn)科中心35F
實(shí)驗(yàn)室地址：遼寧省沈陽(yáng)市和平區(qū)三好街84-8號(hào)KY-12
一工廠地址：遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)聯(lián)東U谷渾南高新裝備產(chǎn)業(yè)園34-2
鞍山分公司地址：遼寧省鞍山市鐵東區(qū)萬(wàn)科東源大廈1207